直線過濾器采用316L不銹鋼材質(zhì),線型結(jié)構(gòu)緊湊,用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體,以保護(hù)下游流體設(shè)備。最高工作壓力可達(dá)207bar;最高工作溫度204℃;多種過濾精度:2-5微米,5-10微米,20-40微米。廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、...

?在半導(dǎo)體、光伏、新能源和制藥行業(yè),超高純氣體過濾器已成為氣體輸送系統(tǒng)中不可或缺的組件。國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)(SEMI)在 F20 與 F38 標(biāo)準(zhǔn)中明確指出,氣體管道中顆粒物濃度必須嚴(yán)格控制,否則將直接影響工藝良率和設(shè)備壽命。隨著芯片...

恒歌高純高壓氣體專用過濾器是專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能過濾設(shè)備,過濾精度高,耐高壓耐腐蝕耐高溫!

恒歌氣體純化過濾器采用不銹鋼316L制成,通過物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20,O2,CO,CO2,NMHC等雜質(zhì)去除,并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過濾精度為3納米到100微米的顆粒過濾器。

恒歌高壓氣體專用過濾器、用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合、兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)?..

電子氣作為半導(dǎo)體制造的 “血液”,其純度直接影響芯片的質(zhì)量與性能。深圳恒歌的特氣柜電子氣氣體過濾器,專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)打造,為電子氣的潔凈輸送提供堅(jiān)實(shí)保障。

在半導(dǎo)體制造過程中,氣體的純度是影響產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一。深圳恒歌的BF系列大宗氣體專用過濾器,專為超高純工藝氣體在線過濾而設(shè)計(jì),能夠有效去除氣體中的雜質(zhì),確保氣體的超高純度。

在工業(yè)生產(chǎn)中,壓縮空氣系統(tǒng)的氣體質(zhì)量直接影響到生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)行效率和產(chǎn)品質(zhì)量。深圳恒歌的壓縮空氣系統(tǒng)不銹鋼高純氣體過濾器,以其卓越的性能和高效過濾能力,成為提升氣體質(zhì)量的關(guān)鍵設(shè)備。該過濾器采用堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)壓力高達(dá)50Mpa,...

適用于高壓工況下的氣體及液體過濾,體積小,安裝方便,為高壓運(yùn)行系統(tǒng)提供了相當(dāng)高的技術(shù)和經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢。產(chǎn)品應(yīng)用范圍廣,與大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性;微納米顆粒過濾能力保持高流量效率,超小壓降

恒歌不銹鋼高純氣體系統(tǒng)過濾器對于超純氣體可通過多級處理滿足工況要求,產(chǎn)品無焊接部位,耐壓性能、安全系數(shù)極高,適用于高壓工況下的氣體及液體過濾,體積小,安裝方便,為高壓運(yùn)行系統(tǒng)提供了相當(dāng)高的技術(shù)和經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢。為一些超高壓工況研發(fā)設(shè)計(jì),具有結(jié)構(gòu)簡...

半導(dǎo)體氣體過濾器_超高壓氮?dú)鈿錃飧呒冞^濾器大型設(shè)備

BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損、過濾精度高達(dá)0.003μm、滿足超高純工藝需求,整體金屬構(gòu)造、是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
